在“工業(yè)過程自動(dòng)控制”項(xiàng)目中，“敏感元件及傳感器開發(fā)”作為攻關(guān)課題進(jìn)行攻關(guān)。

開發(fā)擴(kuò)散硅2英寸硅片的芯片制備工藝、力敏器件封接工藝、硅杯加工工藝，以及薄膜濺射工藝，厚膜漿料配制及元件刻蝕、調(diào)阻等傳感器制造的新工藝。

開發(fā)了17種新型敏感材料，使敏感材料依靠國外的局面有了很大的改善。

擴(kuò)散硅力敏器件、壓力傳感器、液位傳感器、薄膜鉑電阻、厚膜鉑電阻、電渦流傳感器等新產(chǎn)品，進(jìn)行了小批量生產(chǎn)，并在電站故障診斷系統(tǒng)等工程中應(yīng)用。在沈陽儀器儀表工藝研究所和大連儀表元件廠進(jìn)行硅壓力傳感器的中試生產(chǎn)，產(chǎn)品的技術(shù)水平與當(dāng)時(shí)國外同類產(chǎn)品水平相當(dāng)。 

“八五”期間：加強(qiáng)傳感技術(shù)研究，開展“批量生產(chǎn)研究”

“傳感器技術(shù)研究”列為國家科技攻關(guān)。以“3-5-3”的原則安排，即以工業(yè)控制、測試儀器和機(jī)電一體化為服務(wù)對象，選擇力、磁、熱、濕、氣五大類傳感器為攻關(guān)重點(diǎn)，形成沈陽儀表工藝所、上海冶金所、 哈爾濱49所三個(gè)傳感器研發(fā)中心。

取得新技術(shù)、新工藝37項(xiàng)，開發(fā)了74個(gè)品種132規(guī)格的新產(chǎn)品，獲得國家專利15項(xiàng)。攻關(guān)期間銷售各類傳感器2360萬只，銷售收入13711萬元，創(chuàng)匯214萬美元。

首次開發(fā)了InSb磁敏薄膜和霍爾元件；小型廉價(jià)壓力傳感器、磁敏電流傳感器、厚膜壓力傳感器、高性能NTC熱敏電阻、可燃?xì)怏w傳感器、廉價(jià)濕度傳感器等產(chǎn)品開始批量生產(chǎn)。

“九五”期間： “工程化研究”正式立項(xiàng)

“傳感器技術(shù)研究”繼續(xù)列為國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目。攻關(guān)以提高技術(shù)水平、可靠性水平和產(chǎn)業(yè)化程度為目標(biāo)，以市場需求為導(dǎo)向，進(jìn)行工程化、新產(chǎn)品開發(fā)、共性關(guān)鍵技術(shù)研究。

獲得科技成果59項(xiàng)，有6項(xiàng)成果進(jìn)行了技術(shù)轉(zhuǎn)讓，取得專利32 項(xiàng)，其中發(fā)明專利7項(xiàng)。攻關(guān)期間累計(jì)銷售各類傳感器1260萬只，銷售收入25218萬元，創(chuàng)匯907萬美元。

工業(yè)變送器用硅壓力傳感器、OEM通用壓力傳感器、厚膜壓力傳感器、石英諧振式稱重傳感器、InSb霍爾元件、厚膜鉑電阻，α-Fe203可燃?xì)怏w傳感器、廉價(jià)濕度傳感器進(jìn)行工程化研究，18個(gè)品種75個(gè)規(guī)格新型傳感器中試生產(chǎn)，年生產(chǎn)能力2257萬只，石英諧振式稱重傳感器的批量生產(chǎn)在國內(nèi)外屬于首創(chuàng)，開發(fā)了兩大系列7個(gè)品種的電子衡器，建立了深圳清華傳感設(shè)備公司。

微機(jī)械加工（MEMS）工藝在壓力傳感器的生產(chǎn)中得到實(shí)際應(yīng)用。解決了擴(kuò)散硅芯片的穩(wěn)定性和免補(bǔ)償工藝，提高了可補(bǔ)性、穩(wěn)定性、一致性，成品率80%。實(shí)現(xiàn)4英寸片批量生產(chǎn)工藝。

InSb磁敏薄膜芯片的制備工藝由化合物蒸鍍過渡到In和Sb的單質(zhì)蒸鍍，成品率達(dá)到60%，在南京中旭微電子公司進(jìn)行生產(chǎn)。

完成了51個(gè)品種、72個(gè)規(guī)格的新產(chǎn)品開發(fā)。微壓傳感器、高溫硅集成開關(guān)、快響應(yīng)電流傳感器、硅集成線性傳感器、電化學(xué)CO傳感器、低濃度NO2傳感器、長壽命高分子濕度傳感器、低功耗氣體傳感器、小型固態(tài)PH傳感器等新產(chǎn)品進(jìn)行批量生產(chǎn)。在突破關(guān)鍵技術(shù)之后，建立了新疆傳感器公司和武漢湖北中邦電子有限公司，產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)超小型NTC熱敏電阻、過載保護(hù)用PTC熱敏電阻。

“十五”期間：“產(chǎn)業(yè)化研究”成為攻關(guān)重要內(nèi)容

 “先進(jìn)制造基礎(chǔ)件開發(fā)研究和應(yīng)用”中，傳感器產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研究是該項(xiàng)目的重要攻關(guān)內(nèi)容之一，列了三個(gè)專題，分別是：

——差壓、靜壓、溫度三參數(shù)一體化多功能傳感器產(chǎn)業(yè)化技術(shù)，為國內(nèi)智能工業(yè)變送器配套。年生產(chǎn)能力達(dá)到2萬只；

——低功耗強(qiáng)磁體薄膜磁阻器件系列產(chǎn)品開發(fā)，為工業(yè)計(jì)量儀表配套。年生產(chǎn)能力達(dá)到50萬只；

——可靠性增長技術(shù)研究，實(shí)現(xiàn)上述兩種傳感器的可靠性增長。一體化多功能傳感器達(dá)到5萬小時(shí)，低功耗強(qiáng)磁體薄膜磁阻器件達(dá)到六級。

“十一五”至今

“傳感器的規(guī)模化產(chǎn)業(yè)化問題”成為傳感器的熱點(diǎn)，引起多方關(guān)注。