上海微電子公司榮獲第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎
7月15日,由國家知識產(chǎn)權(quán)局和世界知識產(chǎn)權(quán)組織共同評選的第二十一屆中國專利獎?wù)桨l(fā)布授獎決定,上海微電子公司發(fā)明專利“一種步進(jìn)光刻設(shè)備及光刻曝光方法(ZL201110241791.3)”榮獲第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎,這也是上海微電子公司獲得的第九項中國專利優(yōu)秀獎。
2020-08-28 09:18:067月15日,由國家知識產(chǎn)權(quán)局和世界知識產(chǎn)權(quán)組織共同評選的第二十一屆中國專利獎?wù)桨l(fā)布授獎決定,上海微電子公司發(fā)明專利“一種步進(jìn)光刻設(shè)備及光刻曝光方法(ZL201110241791.3)”榮獲第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎,這也是上海微電子公司獲得的第九項中國專利優(yōu)秀獎。
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